| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR |
| (30) |
Priorität: |
08.03.2002 DE 10210097
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| (71) |
Anmelder: INSTITUT FÜR MIKROTECHNIK MAINZ GmbH |
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55129 Mainz-Hechtsheim (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- NEUMANN, Frank
63225 Langen (DE)
- LÖWE, Holger
55276 Oppenheim (DE)
- HESSEL, Volker
65510 Hünstetten-Wallbach (DE)
- HARDT, Steffen
55129 Mainz (DE)
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| (74) |
Vertreter: Weber, Dieter, Dr. |
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Weber, Seiffert, LiekePostfach 61 45 65051 Wiesbaden 65051 Wiesbaden (DE) |
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