(19)
(11) EP 1 483 506 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
08.12.2004  Patentblatt  2004/50

(21) Anmeldenummer: 03711900.5

(22) Anmeldetag:  26.02.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7F04D 19/04, F04D 29/04, F04D 25/16
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/001938
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/076810 (18.09.2003 Gazette  2003/38)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO

(30) Priorität: 14.03.2002 DE 10211134

(71) Anmelder: Gesellschaft für Schwerionenforschung mbH
64291 Darmstadt (DE)

(72) Erfinder:
  • MOKLER, Paul
    64291 Darmstadt (DE)

   


(54) TURBOMOLEKULARPUMPE MIT HOCHVAKUUMSEITIG KREISRINGFÖRMIGER ANSAUGFLÄCHE