(19)
(11) EP 1 483 573 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
08.12.2004  Patentblatt  2004/50

(21) Anmeldenummer: 03717149.3

(22) Anmeldetag:  14.03.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01N 27/327, G01N 33/543, C12Q 1/68
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/000828
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/078991 (25.09.2003 Gazette  2003/39)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 14.03.2002 DE 10211358

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HOFMANN,, Franz
    80995 München (DE)
  • LUYKEN,, R. Johannes
    81825 München (DE)
  • ROESNER,, Wolfgang
    85521 Ottobrunn (DE)

(74) Vertreter: Viering, Jentschura & Partner 
Steinsdorfstrasse 6
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) VERTIKAL-IMPEDANZ-SENSOR-ANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER VERTIKAL-IMPEDANZ-SENSOR-ANORDNUNG