(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL LT LV MK |
(30) |
Priorität: |
12.03.2002 DE 10210782
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(71) |
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG |
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73447 Oberkochen (DE) |
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(72) |
Erfinder: |
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- GOEHNERMEIER, Aksel
73431 Aalen (DE)
- PAZIDIS, Alexandra
73431 Aalen (DE)
- MECKING, Birgit
73434 Aalen (DE)
- ZACZEK, Christoph
78540 Heubach (DE)
- KRAEHMER, Daniel
73431 Aalen (DE)
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(74) |
Vertreter: Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner |
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Postfach 10 40 36 70035 Stuttgart 70035 Stuttgart (DE) |
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