(19)

(11)

EP 1 483 625 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 08.12.2004  Patentblatt  2004/50 (21) Anmeldenummer: 02738025.2 (22) Anmeldetag:  03.05.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2002/004846 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/077036 (18.09.2003 Gazette  2003/38)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO SI (30) Priorität: 08.03.2002 DE 10210899 (71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: SCHUSTER, Karl-Heinz 89551 Königsbronn (DE) (74) Vertreter: Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner  Postfach 10 40 36 70035 Stuttgart 70035 Stuttgart (DE)