(19)
(11) EP 1 483 780 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
15.07.2004

(43) Veröffentlichungstag:
08.12.2004  Patentblatt  2004/50

(21) Anmeldenummer: 03722207.2

(22) Anmeldetag:  05.03.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/000676
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/075323 (12.09.2003 Gazette  2003/37)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 05.03.2002 DE 10209763
23.10.2002 DE 10249350

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • LAERMER, Franz
    71263 Weil der Stadt (DE)
  • BREITSCHWERDT, Klaus
    70794 Filderstadt (DE)
  • KUTSCH, Bernd
    70469 Stuttgart (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ANISOTROPEN PLASMAÄTZEN EINES SUBSTRATES