(19)
(11) EP 1 485 759 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
04.03.2004

(43) Veröffentlichungstag:
15.12.2004  Patentblatt  2004/51

(21) Anmeldenummer: 03708203.9

(22) Anmeldetag:  10.03.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7G03F 7/20
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/002419
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/081712 (02.10.2003 Gazette  2003/40)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 21.03.2002 DE 10212691

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • HEIDEMANN, Klaus
    73447 Oberkochen (DE)
  • OSTERRIED, Karlfried
    73431 Aalen (DE)

(74) Vertreter: Dr. Weitzel & Partner 
Friedenstrasse 10
89522 Heidenheim
89522 Heidenheim (DE)

   


(54) GITTERELEMENT ZUM FILTERN VON WELLENLÄNGEN = 100NM