(19)
(11)
EP 1 485 759 A2
(12)
(88)
Veröffentlichungstag A3:
04.03.2004
(43)
Veröffentlichungstag:
15.12.2004
Patentblatt 2004/51
(21)
Anmeldenummer:
03708203.9
(22)
Anmeldetag:
10.03.2003
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC)
7
:
G03F
7/20
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/002419
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/081712
(
02.10.2003
Gazette 2003/40)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK
(30)
Priorität:
21.03.2002
DE 10212691
(71)
Anmelder:
Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)
(72)
Erfinder:
HEIDEMANN, Klaus
73447 Oberkochen (DE)
OSTERRIED, Karlfried
73431 Aalen (DE)
(74)
Vertreter:
Dr. Weitzel & Partner
Friedenstrasse 10
89522 Heidenheim
89522 Heidenheim (DE)
(54)
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