(19)

(11)

EP 1 485 761 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 25.03.2004 (43) Veröffentlichungstag: 15.12.2004  Patentblatt  2004/51 (21) Anmeldenummer: 03744355.3 (22) Anmeldetag:  13.03.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2003/002578 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/079115 (25.09.2003 Gazette  2003/39)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 15.03.2002 DE 10212344 (71) Anmelder: KLEO Halbleitertechnik GmbH & Co KG 88069 Tettnang (DE)	(72) Erfinder: OPOWER, Hans 82152 Krailling (DE) SCHARL, Stefan 88142 Wasserburg (DE) (74) Vertreter: HOEGER, STELLRECHT & PARTNER Patentanwälte  Uhlandstrasse 14 c 70182 Stuttgart 70182 Stuttgart (DE)