(19)
(11) EP 1 485 762 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
05.02.2004

(43) Veröffentlichungstag:
15.12.2004  Patentblatt  2004/51

(21) Anmeldenummer: 03744806.5

(22) Anmeldetag:  18.03.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20, G02B 7/18, G02B 7/00, G02B 7/182
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/002778
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/081337 (02.10.2003 Gazette  2003/40)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 21.03.2002 DE 10212547

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • WEBER, Ulrich
    89073 Ulm (DE)
  • HOLDERER, Hubert
    89551 Koenigsbronn (DE)
  • MUENKER, Hartmut
    57271 Hilchenbach-Dahlbruch (DE)

(74) Vertreter: Lorenz, Werner, Dr.-Ing. et al
Lorenz & KollegenPatent- und RechtsanwaltskanzleiAlte Ulmer Strasse 2-4
89522 Heidenheim
89522 Heidenheim (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUR MANIPULATION DER WINKELLAGE EINES GEGENSTANDS GEGEN BER EINER FESTEN STRUKTUR