(19)
(11) EP 1 488 023 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
22.12.2004  Patentblatt  2004/52

(21) Anmeldenummer: 03744817.2

(22) Anmeldetag:  19.03.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 16/448, C23C 14/22, C23C 14/54, C23C 16/52, C23C 14/12
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/002860
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/080893 (02.10.2003 Gazette  2003/40)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 22.03.2002 DE 10212923

(71) Anmelder: Aixtron AG
52072 Aachen (DE)

(72) Erfinder:
  • JÜRGENSEN, Holger
    52072 Aachen (DE)
  • HEUKEN, Michael
    52078 Aachen (DE)

(74) Vertreter: Grundmann, Dirk, Dr. 
Corneliusstrasse 45
42329 Wuppertal
42329 Wuppertal (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM BESCHICHTEN EINES SUBSTRATES UND VORRICHTUNG ZUR DURCHF HRUNG DES VERFAHRENS