(19)

(11)

EP 1 488 107 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 22.12.2004  Patentblatt  2004/52 (21) Anmeldenummer: 03744779.4 (22) Anmeldetag:  18.02.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: F04C 18/107 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2003/001597 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/081048 (02.10.2003 Gazette  2003/40)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO (30) Priorität: 22.03.2002 DE 10212940 (71) Anmelder: Leybold Vakuum GmbH 50968 Köln (DE)	(72) Erfinder: DREIFERT, Thomas 50171 Kerpen (DE) (74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. et al Aggerstrasse 24 50859 Köln 50859 Köln (DE)