(19)
(11) EP 1 488 220 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
22.12.2004  Patentblatt  2004/52

(21) Anmeldenummer: 03743873.6

(22) Anmeldetag:  12.03.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01N 21/88, G01N 33/44, C14B 1/28
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/002507
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/076915 (18.09.2003 Gazette  2003/38)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 14.03.2002 DE 10211293

(71) Anmelder: BASF AKTIENGESELLSCHAFT
67056 Ludwigshafen (DE)

(72) Erfinder:
  • PABST, Gunther
    68165 Mannheim (DE)
  • IGL, Georg
    71554 Weissach (DE)
  • HÖRNER, Klaus, Dieter
    68165 Mannheim (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR AUTOMATISIERTEN OBERFLÄCHENKONTROLLE UND OBERFLÄCHENKORREKTUR