(19)
(11) EP 1 488 457 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
22.12.2004  Patentblatt  2004/52

(21) Anmeldenummer: 03720338.7

(22) Anmeldetag:  18.03.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 27/142, H01L 31/18
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/002864
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/079448 (25.09.2003 Gazette  2003/39)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 19.03.2002 EP 02006162

(71) Anmelder: Scheuten Glasgroep
5900 AA Venlo (NL)

(72) Erfinder:
  • GEYER, Volker
    41372 Niederkrüchten (DE)

(74) Vertreter: Jostarndt, Hans-Dieter, Dr. Dipl.-Phys. 
Jostarndt Patentanwalts-AGBrüsseler Ring 51
52074 Aachen
52074 Aachen (DE)

   


(54) SELBSTJUSTIERENDE SERIENVERSCHALTUNG VON DÜNNSCHICHTEN UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG