(19)
(11) EP 1 490 733 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
29.12.2004  Patentblatt  2004/53

(21) Anmeldenummer: 03711910.4

(22) Anmeldetag:  01.03.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20, G21K 1/06
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/002115
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/083579 (09.10.2003 Gazette  2003/41)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 28.03.2002 DE 10214259

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • WEISS, Markus
    73430 Aalen (DE)

(74) Vertreter: Dr. Weitzel & Partner 
Friedenstrasse 10
89522 Heidenheim
89522 Heidenheim (DE)

   


(54) KOLLEKTOREINHEIT MIT EINEM REFLEKTIVEN ELEMENT FÜR BELEUCHTUNGSSYSTEME MIT EINER WELLENLÄNGE KLEINER ALS 193 NM