(19)

(11)

EP 1 490 894 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 29.12.2004  Patentblatt  2004/53 (21) Anmeldenummer: 03745743.9 (22) Anmeldetag:  02.04.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2003/001058 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/085702 (16.10.2003 Gazette  2003/42)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK (30) Priorität: 04.04.2002 DE 10214969 24.04.2002 DE 10218384 05.06.2002 DE 10225097 (71) Anmelder: Sillner, Georg D-93197 Zeitlarn (DE)	(72) Erfinder: Sillner, Georg D-93197 Zeitlarn (DE) (74) Vertreter: Graf, Helmut, Dipl.-Ing. et al PatentanwaltPostfach 10 08 26 93008 Regensburg 93008 Regensburg (DE)