(19)

(11)

EP 1 493 060 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 26.02.2004 (43) Veröffentlichungstag: 05.01.2005  Patentblatt  2005/01 (21) Anmeldenummer: 03725009.9 (22) Anmeldetag:  11.04.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2003/003775 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/085456 (16.10.2003 Gazette  2003/42)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK (30) Priorität: 11.04.2002 DE 10216096 (71) Anmelder: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH 69126 Heidelberg (DE)	(72) Erfinder: KAPLAN, Roland 69126 Heidelberg (DE) SOLLNER, Jürgen 69120 Heidelberg (DE) (74) Vertreter: Schmitt, Meinrad, Dipl.-Ing.  Reble, Klose & SchmittPatente & MarkenPostfach 12 15 19 68066 Mannheim 68066 Mannheim (DE)