(19)

(11)

EP 1 493 181 A2

(12)

(88) Date de publication A3: 01.04.2004 (43) Date de publication: 05.01.2005  Bulletin  2005/01 (21) Numéro de dépôt: 03725311.9 (22) Date de dépôt:  21.03.2003

(51) Int. Cl.7: H01L 21/68 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2003/000905 (87) Numéro de publication internationale: WO 2003/081664 (02.10.2003 Gazette  2003/40)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR (30) Priorité: 25.03.2002 FR 0203693 (71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 75752 Paris Cédex 15 (FR)	(72) Inventeurs: ASPAR, Bernard F-38140 RIVES (FR) RAYSSAC, Olivier F-38100 GRENOBLE (FR) FOURNEL, Franck F-38430 MORANS (FR) (74) Mandataire: Poulin, Gérard et al Brevatome3, rue du Docteur Lancereaux 75008 Paris 75008 Paris (FR)