(19)
(11) EP 1 495 152 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
19.02.2004

(43) Veröffentlichungstag:
12.01.2005  Patentblatt  2005/02

(21) Anmeldenummer: 03746233.0

(22) Anmeldetag:  11.04.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7C23C 14/00, H01J 37/34
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/001216
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/087426 (23.10.2003 Gazette  2003/43)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 15.04.2002 DE 10216671

(71) Anmelder: Applied Films GmbH & Co. KG
63755 Alzenau (DE)

(72) Erfinder:
  • GEISLER, Michael
    63607 Wächtersbach (DE)
  • KASTNER, Albert
    63457 Hanau (DE)
  • SZYSZKA, Bernd
    38108 Braunschweig (DE)
  • PFLUG, Andreas
    30175 Hannover (DE)
  • MALKOMES, Niels
    38106 Braunschweig (DE)

(74) Vertreter: Hebing, Norbert et al
Patentanwalt,Frankfurter Strasse 34
61231 Bad Nauheim
61231 Bad Nauheim (DE)

   


(54) BESCHICHTUNGSANLAGE