(19)
(11) EP 1 495 369 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
16.09.2004

(43) Veröffentlichungstag:
12.01.2005  Patentblatt  2005/02

(21) Anmeldenummer: 03718735.8

(22) Anmeldetag:  05.04.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20, G01M 11/02
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/003566
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/087945 (23.10.2003 Gazette  2003/43)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 15.04.2002 DE 10217242

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHRIEVER, Martin
    73431 Aalen (DE)
  • WEGMANN, Ulrich
    89551 Königsbronn (DE)
  • HAIDNER, Helmut
    73430 Aalen (DE)

(74) Vertreter: Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner 
Postfach 10 40 36
70035 Stuttgart
70035 Stuttgart (DE)

   


(54) INTERFEROMETRISCHE MESSVORRICHTUNG UND PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE MIT DERARTIGER MESSVORRICHTUNG