(19)
(11) EP 1 495 370 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
04.03.2004

(43) Veröffentlichungstag:
12.01.2005  Patentblatt  2005/02

(21) Anmeldenummer: 03729841.1

(22) Anmeldetag:  16.04.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/001280
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/087943 (23.10.2003 Gazette  2003/43)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 16.04.2002 DE 10216820

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HASSMANN, Jens
    01109 Dresden (DE)
  • KOWALEWSKI, Johannes
    01109 Dresden (DE)
  • KUNKEL, Gerhard
    01445 Radebeul (DE)
  • SCHEDEL, Thorsten
    01129 Dresden (DE)
  • SCHRÖDER, Uwe, Paul
    12533 Hopewell Junction, NY (US)
  • VOIGT, Ina
    81369 München (DE)

(74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer 
Patentanwaltsgesellschaft mbH,Riederstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER AUF EIN BELICHTUNGSGERÄT ANGEPASSTEN MASKE