(19)
(11) EP 1 495 482 A2

(12)

(88) Date of publication A3:
11.11.2004

(43) Date of publication:
12.01.2005 Bulletin 2005/02

(21) Application number: 02786937.9

(22) Date of filing: 06.12.2002
(51) International Patent Classification (IPC)7H01L 21/00
(86) International application number:
PCT/US2002/039146
(87) International publication number:
WO 2003/050852 (19.06.2003 Gazette 2003/25)
(84) Designated Contracting States:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR
Designated Extension States:
AL LT LV MK RO

(30) Priority: 06.12.2001 US 340372 P
13.03.2002 US 364261 P
07.05.2002 US 379133 P
07.05.2002 US 379184 P
07.05.2002 US 379135 P
07.05.2002 US 379177 P
07.05.2002 US 379182 P
07.05.2002 US 379130 P
27.06.2002 US 392531 P
01.10.2002 US 415374 P
01.10.2002 US 415371 P
29.10.2002 US 422007 P
01.11.2002 US 422982 P
26.11.2002 US 429483 P
26.11.2002 US 429484 P
02.12.2002 US 430809 P
03.12.2002 US 309521

(60) Divisional application:
04015983.2

(71) Applicant: Memgen Corporation
Burbank, CA 91506 (US)

(72) Inventors:
  • BANG, Christopher, A.
    San Diego, CA 92126 (US)
  • COHEN, Adam, L.
    Los Angeles, CA 90035 (US)
  • LOCKARD, Michael, S.
    Lake Elizabeth, CA 93532 (US)
  • EVANS, John, D.
    Arlington, VA 22207 (US)

(74) Representative: Hess, Peter K., Dipl.-Phys. 
Patent- und RechtsanwälteBardehle . Pagenberg . Dost .Altenberg . GeisslerPostfach 86 06 20
81633 München
81633 München (DE)

   


(54) COMPLEX MICRODEVICES AND APPPARATUS AND METHODS FOR FABRICATING SUCH DEVICES