ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYALTRBGCZEE....SK................*XDIM350 (Ver 2.1 Jan 2001) 1100000/0 1710000/01495482A220050112EP02786937.92002120620040706EnEnEn340372 P20011206US364261 P20020313US379133 P20020507US379184 P20020507US379135 P20020507US379177 P20020507US379182 P20020507US379130 P20020507US392531 P20020627US415374 P20021001US415371 P20021001US422007 P20021029US422982 P20021101US429483 P20021126US429484 P20021126US430809 P20021202US30952120021203US20050112200502200501122005027 7H 01L 21/00 AdeKOMPLEXE MIKROEINRICHTUNGEN UND VORRICHTUNGEN UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG SOLCHER EINRICHTUNGENenCOMPLEX MICRODEVICES AND APPPARATUS AND METHODS FOR FABRICATING SUCH DEVICESfrMICRODISPOSITIFS COMPLEXES, APPAREIL ET PROCEDES DE FABRICATION DE CEUX-CI04015983.220040707Memgen Corporation04459350M102356WOEP1103 W. Isabel StreetBurbank, CA 91506USBANG, Christopher, A.8540 Longwood St.San Diego, CA 92126USCOHEN, Adam, L.9537 Kirkside RoadLos Angeles, CA 90035USLOCKARD, Michael, S.15152 Bluffon StreetLake Elizabeth, CA 93532USEVANS, John, D.5013 N.24th StreetArlington, VA 22207USHess, Peter K., Dipl.-Phys.00074391Patent- und RechtsanwälteBardehle . Pagenberg . Dost .Altenberg . GeisslerPostfach 86 06 2081633 MünchenDEATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRIEITLILUMCNLPTSESISKTRALLTLVMKROUS200203914620021206EnWO20030508522003061920032520041111000000