(19)

(11)

EP 1 495 488 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 18.12.2003 (43) Veröffentlichungstag: 12.01.2005  Patentblatt  2005/02 (21) Anmeldenummer: 03746222.3 (22) Anmeldetag:  01.04.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2003/001063 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/088321 (23.10.2003 Gazette  2003/43)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 12.04.2002 DE 10216284 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: EISINGER, Dirk 76316 Malsch (DE) ZOLLER, Marc 76199 Karlsruhe (DE)