(19)
(11) EP 1 497 478 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
18.12.2003

(43) Veröffentlichungstag:
19.01.2005  Patentblatt  2005/03

(21) Anmeldenummer: 03712055.7

(22) Anmeldetag:  18.03.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7C23C 14/04
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/002863
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/078677 (25.09.2003 Gazette  2003/39)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 19.03.2002 EP 02006164

(71) Anmelder: Scheuten Glasgroep
5900 AA Venlo (NL)

(72) Erfinder:
  • KAAS, Patrick
    NL-5632 MN Eindhoven (NL)
  • GEYER, Volker
    41372 Niederkrüchten (DE)

(74) Vertreter: Jostarndt, Hans-Dieter, Dr. Dipl.-Phys. et al
Jostarndt Patentanwalts-AGBrüsseler Ring 51
52074 Aachen
52074 Aachen (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUM GERICHTETEN AUFBRINGEN VON DEPOSITIONSMATERIAL AUF EIN SUBSTRAT