(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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DE FI FR GB IT |
(30) |
Priorität: |
22.04.2002 DE 10217946
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(43) |
Veröffentlichungstag der Anmeldung: |
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19.01.2005 Patentblatt 2005/03 |
(73) |
Patentinhaber: |
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- Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
63450 Hanau (DE)
- Siltronic AG
81737 München (DE)
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(72) |
Erfinder: |
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- KORUS, Gabriele
04109 Leipzig (DE)
- ARNDT, Martin
06749 Bitterfeld (DE)
- LAUDAHN, Hilmar
06749 Bitterfeld (DE)
- SCHWARZBAUER, Manfred
84359 Simbach (DE)
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(74) |
Vertreter: Staudt, Armin Walter |
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Patentanwalt
Auf der Mauer 8 63674 Altenstadt 63674 Altenstadt (DE) |
(56) |
Entgegenhaltungen: :
EP-A- 0 748 885 WO-A-00/46432 US-A- 5 389 582
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EP-A- 0 911 429 WO-A-02/16677 US-A- 5 968 259
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