(19)
(11) EP 1 498 612 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
14.09.2011  Patentblatt  2011/37

(43) Veröffentlichungstag A2:
19.01.2005  Patentblatt  2005/03

(21) Anmeldenummer: 04014174.9

(22) Anmeldetag:  17.06.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04D 19/04(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL HR LT LV MK

(30) Priorität: 15.07.2003 DE 10331932

(71) Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH
35614 Asslar (DE)

(72) Erfinder:
  • Stanzel, Jörg
    35583 Wetzlar (DE)

   


(54) Turbomolekularpumpe


(57) Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe mit Rotor- (14) und Statorscheiben (16), wobei die Statorscheiben durch Distanzringe (18, 19) auf Abstand gehalten werden. Die Distanzringe sind so gestaltet, dass sie eine feste Verbindung mit dem jeweiligen Nachbarring eingehen, so dass sie in ihrer Gesamtheit die Fixierung und Zentrierung der Statorscheiben übernehmen.







Recherchenbericht