(19)
(11) EP 1 499 925 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
11.03.2004

(43) Veröffentlichungstag:
26.01.2005  Patentblatt  2005/04

(21) Anmeldenummer: 03724973.7

(22) Anmeldetag:  08.04.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20, G02B 26/08
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/003616
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/093902 (13.11.2003 Gazette  2003/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 30.04.2002 DE 10219514

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • MELZER, Frank
    73469 Utzmemmingen (DE)
  • SINGER, Wolfgang
    73431 Aalen (DE)

(74) Vertreter: Schmid, Wolfgang 
Lorenz & KollegenPatent- und RechtsanwaltskanzleiAlte Ulmer Strasse 2
D-89522 Heidenheim
D-89522 Heidenheim (DE)

   


(54) BELEUCHTUNGSSYSTEM, INSBESONDERE F R DIE EUV-LITHOGRAPHIE