(19)
(11) EP 1 499 926 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.01.2005  Patentblatt  2005/04

(21) Anmeldenummer: 03725097.4

(22) Anmeldetag:  25.04.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20, B01D 29/00, B01D 71/04, B81B 1/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/004321
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/091804 (06.11.2003 Gazette  2003/45)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 26.04.2002 DE 10219584

(71) Anmelder: Frauenhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • GOMBERT, Andreas
    79100 Freiburg (DE)
  • BOERNER, Volkmar
    79100 Freiburg (DE)
  • ROBERT, Josef
    59302 Oelde (DE)
  • GEHRKE, Ilka
    46047 Oberhausen (DE)
  • BLÄSI, Benedikt
    79102 Freiburg (DE)
  • NIGGEMANN, Michael
    79102 Freiburg (DE)
  • SCHLEMME, Christian
    79104 Freiburg (DE)

(74) Vertreter: Bergmann, Jürgen, Dipl.-Ing. 
Pfenning, Meinig & Partner GbRJoachimstaler Strasse 10-12
10719 Berlin
10719 Berlin (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON MIKROLOCHSTRUKTUREN