ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESI....FIRO..CY..TRBGCZEEHU..SK................*XDIM350 (Ver 2.1 Jan 2001) 1100000/0 1710000/01499926A120050126EP03725097.42003042520040915DeDeDe1021958420020426DE20050126200504200501262005047 7G 03F 7/20 A 7B 01D 29/00 B 7B 01D 71/04 B 7B 81B 1/00 BdeVERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON MIKROLOCHSTRUKTURENenMETHOD FOR PRODUCING MICROHOLE STRUCTURESfrPROCEDE DE PRODUCTION DE STRUCTURES A MICRO-TROUSFrauenhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.01838032047EP 1278 SHHansastrasse 27c80686 MünchenDEGOMBERT, AndreasHeinrich-Mann-Str. 579100 FreiburgDEBOERNER, VolkmarVauban-Allee 2279100 FreiburgDEROBERT, JosefKerkbrede 1759302 OeldeDEGEHRKE, IlkaWerdener Str. 5246047 OberhausenDEBLÄSI, BenediktReischstr. 279102 FreiburgDENIGGEMANN, MichaelErwinstrasse 1579102 FreiburgDESCHLEMME, ChristianRötebuckweg 18a79104 FreiburgDEBergmann, Jürgen, Dipl.-Ing.00045101Pfenning, Meinig & Partner GbRJoachimstaler Strasse 10-1210719 BerlinDEATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHUIEITLILUMCNLPTROSESISKTREP200300432120030425DeWO200309180420031106200345