(19)
(11) EP 1 500 133 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.01.2005  Patentblatt  2005/04

(21) Anmeldenummer: 03722221.3

(22) Anmeldetag:  17.03.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/768
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/000861
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/094225 (13.11.2003 Gazette  2003/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 29.04.2002 DE 10219115

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • FÖRSTER, Jürgen
    93105 Tegernheim (DE)
  • PRÜGL, Klemens
    93049 Regensburg (DE)
  • SCHUDERER, Berthold
    93047 Regensburg (DE)

(74) Vertreter: Karl, Frank et al
Patentanwälte Kindermann,Postfach 1330
85627 Grasbrunn
85627 Grasbrunn (DE)

   


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