(19)
(11) EP 1 500 149 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.01.2005  Patentblatt  2005/04

(21) Anmeldenummer: 03722273.4

(22) Anmeldetag:  11.04.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 51/30, H01L 51/20
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/001210
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/094257 (13.11.2003 Gazette  2003/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IE IT NL

(30) Priorität: 29.04.2002 DE 10219121

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HALIK, Marcus
    91058 Erlangen (DE)
  • KLAUK, Hagen
    91058 Erlangen (DE)
  • SCHMID, Günter
    91334 Hemhofen (DE)

(74) Vertreter: Kottmann, Heinz Dieter, Dipl.-Ing. 
Patentanwälte,Müller . Hoffmann & Partner,Innere Wiener Strasse 17
81667 München
81667 München (DE)

   


(54) SILIZIUMPARTIKEL ALS ADDITIVE ZUR VERBESSERUNG DER LADUNGSTRÄGERMOBILITÄT IN ORGANISCHEN HALBLEITERN