(19)
(11) EP 1 500 316 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.01.2005  Patentblatt  2005/04

(21) Anmeldenummer: 03722247.8

(22) Anmeldetag:  01.04.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H05K 3/00, B23K 26/38
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/001065
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/094584 (13.11.2003 Gazette  2003/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 30.04.2002 DE 10219388

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • LESJAK, Stefan
    76275 Ettlingen (DE)
  • DE STEUR, Hubert
    B-9031 Drongen (BE)
  • PAN, Wei
    B-9062 Zwinjnaarde Gent (BE)

   


(54) VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG EINER GRABENSTRUKTUR IN EINEM POLYMER-SUBSTRAT