(19)

(11)

EP 1 502 153 A2

(12)

(88) Date de publication A3: 04.11.2004 (43) Date de publication: 02.02.2005  Bulletin  2005/05 (21) Numéro de dépôt: 03749925.8 (22) Date de dépôt:  06.05.2003

(51) Int. Cl.7: G03F 1/14, G03F 1/00 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2003/001400 (87) Numéro de publication internationale: WO 2003/096121 (20.11.2003 Gazette  2003/47)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR (30) Priorité: 07.05.2002 FR 0205718 (71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 75752 Paris Cédex 15 (FR)	(72) Inventeurs: THONY, Philippe F-38134 Saint-Joseph de Rivière (FR) ASPAR, Bernard F-38140 RIVES (FR) FANGET, Gilles F-38140 REAUMONT (FR) (74) Mandataire: Poulin, Gérard et al Brevatome3, rue du Docteur Lancereaux 75008 Paris 75008 Paris (FR)