(19)

(11)

EP 1 502 157 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 02.02.2005  Patentblatt  2005/05 (21) Anmeldenummer: 02807393.0 (22) Anmeldetag:  13.11.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20, G02B 1/02 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2002/012690 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/096124 (20.11.2003 Gazette  2003/47)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO SI (30) Priorität: 08.05.2002 WO PCT/EP02/05050 (71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: ENKISCH, Birgit 73431 Aalen (DE) ENKISCH, Hartmut 73431 Aalen (DE) GRUNER, Toralf 73433 Aalen-Hofen (DE) (74) Vertreter: Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr.  Carl Zeiss,Patentabteilung 73446 Oberkochen 73446 Oberkochen (DE)