(19)

(11)

EP 1 502 158 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 02.02.2005  Patentblatt  2005/05 (21) Anmeldenummer: 03747435.0 (22) Anmeldetag:  30.04.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2003/004477 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/093904 (13.11.2003 Gazette  2003/46)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK (30) Priorität: 03.05.2002 WO PCT/EP02/04846 24.05.2002 DE 10224361 (71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: SCHUSTER, Karl-Heinz 89551 Königsbronn (DE) (74) Vertreter: Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner  Postfach 10 40 36 70035 Stuttgart 70035 Stuttgart (DE)