| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL LT LV MK |
| (30) |
Priorität: |
29.04.2002 DE 10220324
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| (71) |
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG |
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73447 Oberkochen (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- HOLDERER, Hubert
89551 Königsbronn (DE)
- HEMBD-SÖLLNER, Christian
70180 Stuttgart (DE)
- VON BÜNAU, Rudolf
73457 Essingen (DE)
- HAAG, Ulrich
73430 Aalen (DE)
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| (74) |
Vertreter: Muschik, Thomas (DE) |
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Patentanwälte Ruff, Wilhelm,Beier, Dauster & Partner,Kronenstrasse 30
70174 Stuttgart
70174 Stuttgart (DE) |
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