(19)
(11) EP 1 504 466 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
01.04.2004

(43) Veröffentlichungstag:
09.02.2005  Patentblatt  2005/06

(21) Anmeldenummer: 03729885.8

(22) Anmeldetag:  12.05.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/306
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/001529
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/096389 (20.11.2003 Gazette  2003/47)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 14.05.2002 DE 10221503

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • RIEDL, Edmund
    93083 Obertraubling (DE)
  • SCHOBER, Wolfgang
    92224 Amberg (DE)

(74) Vertreter: Schäfer, Horst, Dr. 
Schweiger & PartnerPatent- und RechtsanwälteKarl-Theodor-Strasse 69
80803 München
80803 München (DE)

   


(54) ZUR WENIGSTENS TEILWEISEN BESCHICHTUNG MIT EINER SUBSTANZ BESTIMMTER METALLGEGENSTAND