(19)
(11) EP 1 506 140 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
16.02.2005  Patentblatt  2005/07

(21) Anmeldenummer: 03720078.9

(22) Anmeldetag:  21.05.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7C03C 17/00, B05D 1/26, B05C 5/02
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/CH2003/000326
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/097547 (27.11.2003 Gazette  2003/48)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 21.05.2002 CH 841022002

(71) Anmelder: Interfloat Corporation
9493 Mauren (LI)

(72) Erfinder:
  • WALHEIM, Stefan
    76356 Weingarten (Baden) (DE)
  • STEPS, Jürgen
    01328 Dresden-Schönfeld (DE)
  • HOLZBECHER, Martin
    88048 Friedrichshafen (DE)

(74) Vertreter: Hasler, Erich, Dr. et al
c/o Riederer Hasler & Partner,Patentanwälte AG,Elestastrasse 8
7310 Bad Ragaz
7310 Bad Ragaz (CH)

   


(54) VERFAHREN UND VERWENDUNG EINER VORRICHTUNG ZUR BESCHICHTUNG VON PLATTENFÖRMIGEN SUBSTRATEN