(19)

(11)

EP 1 506 326 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 16.02.2005  Patentblatt  2005/07 (21) Anmeldenummer: 03711781.9 (22) Anmeldetag:  22.04.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 14/58, F16C 33/10, F16C 33/04 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/CH2003/000262 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/091474 (06.11.2003 Gazette  2003/45)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK (30) Priorität: 25.04.2002 CH 702022002 (71) Anmelder: Unaxis Balzers Aktiengesellschaft 9496 Balzers (LI)	(72) Erfinder: MASSLER, Orlaw A-6800 Feldkirch (AT) WOHLRAB, Christian A-6800 Feldkirch (AT)