| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL LT LV MK |
| (30) |
Priorität: |
18.05.2002 DE 10222331
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| (71) |
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG |
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73447 Oberkochen (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- FRITZSCHE, Steffen
73432 Aalen (DE)
- FEHR, Jean-Noel
CH-1009 Pully (CH)
- KIRCHNER, Harald
81247 München (DE)
- LIPPERT, Johannes
91592 Buch a.W. (DE)
- MÜHLBEYER, Michael
73430 Aalen (DE)
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| (74) |
Vertreter: Lorenz, Werner, Dr.-Ing. et al |
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Lorenz & KollegenPatent- und RechtsanwaltskanzleiAlte Ulmer Strasse 2
89522 Heidenheim
89522 Heidenheim (DE) |
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