(19)

(11)

EP 1 506 578 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 18.03.2004 (43) Veröffentlichungstag: 16.02.2005  Patentblatt  2005/07 (21) Anmeldenummer: 03755118.1 (22) Anmeldetag:  23.05.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 23/498 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2003/005414 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/100846 (04.12.2003 Gazette  2003/49)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK (30) Priorität: 23.05.2002 DE 10222609 15.04.2003 WO PCT/EP03/03907 (71) Anmelder: Schott AG 55122 Mainz (DE)	(72) Erfinder: LEIB, Jürgen 85354 Freising (DE) MUND, Dietrich 84101 Obersüssbach (DE) (74) Vertreter: Herden, Andreas, Dipl.-Ing.  Blumbach - ZinngrebePatentanwälteAlexandrastrasse 5 65187 Wiesbaden 65187 Wiesbaden (DE)