(19)

(11)

EP 1 507 897 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 23.02.2005  Patentblatt  2005/08 (21) Anmeldenummer: 03727493.3 (22) Anmeldetag:  21.05.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 28/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2003/005337 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/100133 (04.12.2003 Gazette  2003/49)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 24.05.2002 EP 02011461 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: QUADAKKERS, Willem, J. NL-6363 EG Wiinandsrade (NL) STAMM, Werner 45481 Mülheim an der Ruhr (DE)