(19)

(11)

EP 1 508 153 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 11.11.2004 (43) Veröffentlichungstag: 23.02.2005  Patentblatt  2005/08 (21) Anmeldenummer: 01923526.6 (22) Anmeldetag:  16.03.2001

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01J 37/32 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2001/001093 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2001/073940 (04.10.2001 Gazette  2001/40)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 27.03.2000 DE 10015699 (71) Anmelder: Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden 01217 Dresden (DE)	(72) Erfinder: STEPHAN, Ulf 01309 Dresden (DE) KUSKE, Jürgen 01239 Dresden (DE) SCHADE, Klaus 01468 Moritzburg (DE) (74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner GbR  Gostritzer Strasse 61-63 01217 Dresden 01217 Dresden (DE)