VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTES UND DANACH HERGESTELLTES HALBLEITERBAULELEMENT - Patent 1508164

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EP 1 508 164 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	23.02.2005 Patentblatt 2005/08

(21)	Anmeldenummer: 03720479.9

(22)	Anmeldetag: 16.04.2003

(51)	Internationale Patentklassifikation (IPC)⁷: H01L 21/28, H01L 21/338

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/EP2003/003979

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 2003/096399 (20.11.2003 Gazette 2003/47)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
	Benannte Erstreckungsstaaten:
	AL LT LV MK

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Priorität:

11.05.2002 DE 10220999
06.02.2003 DE 10304722

(71)	Anmelder: United Monolithic Semiconductors GmbH
	89081 Ulm (DE)

(72)	Erfinder:
	BEHAMMER, Dag 89079 Ulm (DE)

(74)	Vertreter: Weber, Gerhard, Dipl.-Phys.
	PatentanwaltPostfach 2029 89010 Ulm 89010 Ulm (DE)

(54)	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTES UND DANACH HERGESTELLTES HALBLEITERBAULELEMENT