(19)
(11) EP 1 508 165 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
25.03.2004

(43) Veröffentlichungstag:
23.02.2005  Patentblatt  2005/08

(21) Anmeldenummer: 03740036.3

(22) Anmeldetag:  26.05.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/28, H01L 21/336, H01L 29/788
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/001699
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/100841 (04.12.2003 Gazette  2003/49)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 27.05.2002 DE 10223505

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HOFMANN, Franz
    80995 München (DE)
  • LUYKEN, Richard, Johannes
    81825 München (DE)
  • SPECHT, Michael
    80799 München (DE)

(74) Vertreter: Viering, Jentschura & Partner 
Steinsdorfstrasse 6
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER SPEICHERZELLE, SPEICHERZELLE UND SPEICHERZELLEN-ANORDNUNG