(19)
(11) EP 1 508 167 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
19.02.2004

(43) Veröffentlichungstag:
23.02.2005  Patentblatt  2005/08

(21) Anmeldenummer: 03740012.4

(22) Anmeldetag:  22.05.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 23/057, H01L 23/495, H01L 25/065, H01L 21/48, H01L 23/498, H01L 23/047
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/001656
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/098666 (27.11.2003 Gazette  2003/48)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 22.05.2002 DE 10223035

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BETZ, Bernd
    93073 Neutraubling (DE)
  • DANGELMAIER, Jochen
    93105 Tegenheim (DE)
  • LEHNER, Rudolf
    93164 Laaber (DE)
  • PAULUS, Stefan
    93197 Zeitlarn (DE)

(74) Vertreter: Schäfer, Horst, Dr. et al
Schweiger & PartnerPatent- und RechtsanwälteKarl-Theodor-Strasse 69
80803 München
80803 München (DE)

   


(54) HOCHFREQUENZ-LEISTUNGSHALBLEITERMODUL MIT HOHLRAUMGEHÄUSE SOWIE VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG