(19)

(11)

EP 1 508 170 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 08.04.2004 (43) Veröffentlichungstag: 23.02.2005  Patentblatt  2005/08 (21) Anmeldenummer: 03755073.8 (22) Anmeldetag:  25.04.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 23/58, G06K 19/073 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2003/001357 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/100857 (04.12.2003 Gazette  2003/49)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 24.05.2002 DE 10223176 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: BEIT-GROGGER, Andrea A-8045 Graz (AT) RIEGEBAUER, Josef A-8262 Ilz (AT) (74) Vertreter: Epping, Hermann, Fischer  Patentanwaltsgesellschaft mbHRidlerstrasse 55 80339 München 80339 München (DE)