PROCEDE DE REALISATION DE STRUCTURE DE MICROSYSTEME A ENTREFERS LATERAUX ET STRUCTURE DE MICROSYSTEME CORRESPONDANTE - Patent 1508198

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EP 1 508 198 A1

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(43)	Date de publication:
	23.02.2005 Bulletin 2005/08

(21)	Numéro de dépôt: 03740599.0

(22)	Date de dépôt: 11.04.2003

(51)	Int. Cl.⁷: H03H 3/007, H03H 9/46, H03H 9/24, B81B 3/00

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR2003/001165

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 2003/100969 (04.12.2003 Gazette 2003/49)

(84)	Etats contractants désignés:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
	Etats d'extension désignés:
	AL LT LV MK

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Priorité:

24.05.2002 FR 0206388

(71)	Demandeur: Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
	75116 Paris (FR)

(72)	Inventeurs:
	COLLARD, Dominique F-59130 Lambersart (FR) KAISER, Andreas F-59650 Villeneuve-d'Ascq (FR) Quevy, Emmanuel 59000 Lille (FR) BUCHAILLOT, Lionel F-59260 Hellemmes (FR)

(74)	Mandataire: Habasque, Etienne Joel Jean-François et al
	Cabinet Lavoix,2, Place d'Etienne d'Orves 75441 Paris Cédex 09 75441 Paris Cédex 09 (FR)

(54)	PROCEDE DE REALISATION DE STRUCTURE DE MICROSYSTEME A ENTREFERS LATERAUX ET STRUCTURE DE MICROSYSTEME CORRESPONDANTE