(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL LT LV MK |
(30) |
Priorität: |
04.06.2002 DE 10224604
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(71) |
Anmelder: Leybold Vakuum GmbH |
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50968 Köln (DE) |
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(72) |
Erfinder: |
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- ADAMIETZ, Ralf
42929 Wermelskirchen (DE)
- BLUMENTHAL, Roland
CH-6330 Cham (CH)
- KALISCH, Dirk
50999 Köln (DE)
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(74) |
Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. |
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Aggerstrasse 24 50859 Köln 50859 Köln (DE) |
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