(19)
(11) EP 1 509 786 A2

(12)

(88) Date de publication A3:
01.04.2004

(43) Date de publication:
02.03.2005  Bulletin  2005/09

(21) Numéro de dépôt: 03756034.9

(22) Date de dépôt:  30.05.2003
(51) Int. Cl.7G01T 1/02, G01T 1/22, G01T 1/169
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2003/001639
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2003/101528 (11.12.2003 Gazette  2003/50)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Etats d'extension désignés:
AL LT LV MK

(30) Priorité: 03.06.2002 FR 0206778

(71) Demandeur: CENTRE NATIONAL DELA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)
75794 Paris Cedex 16 (FR)

(72) Inventeur:
  • FONTBONNE, Jean-Marc
    F-14000 Caen (FR)

(74) Mandataire: Poulin, Gérard et al
BREVALEX3, rue du Docteur Lancereaux
75008 Paris
75008 Paris (FR)

   


(54) DISPOSITIF ET PROCEDE D'INSPECTION D'UN FAISCEAU IONISANT